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工藝氣體過濾器
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氣體過濾IGS面板專用過濾器半導體潔凈高純氣體兼容多種密封

  • SF系列IGS面板專用過濾器，用于半導體行業(yè)集成氣體輸送與控制系統(tǒng)，兼容C型和W型多種密封規(guī)格，實現(xiàn)0.003um級高效顆粒過濾，保障9-LRV清潔度。支持高達100slpm的大流量，適助力設備升級無憂。全316L不銹鋼構(gòu)造，堅固耐用，緊湊體型融合全焊接與機械密封技術(shù)。采用符合SEMI標準的表面安裝元件，便于系統(tǒng)集成與模塊化設計升級，安裝維護便捷高效。

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